MEMS, mikroelektromekaniske systemer, små konstruktioner opbygget på en mikrochip oftest af silicium, hvor elektroniske kredsløb er kombineret med små bevægelige dele. MEMS-teknologi anvendes fx i inkjet-printere til at sprøjte blækket på papiret, og i biler er det en MEMS-chip, der sørger for at udløse airbaggen på det rigtige tidspunkt. I Danmark har Mikroelektronik Centret siden 1992 forsket i nye anvendelser af MEMS i samarbejde med flere danske virksomheder, bl.a. med henblik på udvikling af små siliciummikrofoner, tryksensorer og biochips.